[16p-A302-1~8] マイクロ・ナノスケール微細加工の表面界面先端技術

[16p-A302-1] エネルギー自立分散ロボットに向けた集積MEMSテクノロジ

〇三田 吉郎¹ (1.東大工)

キーワード：MEMS

「感じる・考える・働きかける」機能をセンチメートル未満の小型筐体に集積し、分散協調作業によって高度な機能を実現する「自律分散マイクロシステム」を指向し、電源テザー線の無い状況で環境から電源を収集するエネルギー生成機構の研究を行なっている。ＳＯＩ基板上に直列PN接合を半導体プロセスで作製しておき、ポストプロセス加工で接合を分離することで、必要な電圧を直接生成する高圧太陽電池を中心に集積技術を紹介する。