The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Symposium (Oral)

Symposium » Advanced Surface and Interface Technologies for Micro and Nanoscale Fabrication

[16p-A302-1~8] Advanced Surface and Interface Technologies for Micro and Nanoscale Fabrication

Thu. Mar 16, 2023 1:30 PM - 6:25 PM A302 (Building No. 6)

Shutaro Asanuma(AIST), Hayato Sone(Gunma University)

2:40 PM - 3:15 PM

[16p-A302-3] Silicon Oxide Electret for MEMS Actuators and Energy-Harvesters

Hiroshi Toshiyoshi1 (1.IIS, Univ. of Tokyo)

Keywords:microelectromechanical systems, electret, energy harvester

シリコン系MEMSと整合するエレクトレットの形成手法として、カリウムをドープしたシリコン酸化膜を高温、高電界下で帯電する技術を開発した。またその応用例として、静電型の音響スピーカーや振動発電素子を試作した。講演ではエレクトレットの形成手法とMEMSデバイスとのトータルプロセス手法に加えて、エレクトレット電位の設計手法、エナジーハーベスタ等価回路設計手法と最近の素子特性等について解説する。