2:40 PM - 3:15 PM
[16p-A302-3] Silicon Oxide Electret for MEMS Actuators and Energy-Harvesters
Keywords:microelectromechanical systems, electret, energy harvester
シリコン系MEMSと整合するエレクトレットの形成手法として、カリウムをドープしたシリコン酸化膜を高温、高電界下で帯電する技術を開発した。またその応用例として、静電型の音響スピーカーや振動発電素子を試作した。講演ではエレクトレットの形成手法とMEMSデバイスとのトータルプロセス手法に加えて、エレクトレット電位の設計手法、エナジーハーベスタ等価回路設計手法と最近の素子特性等について解説する。