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[16p-A402-3] 機械学習・量子アニーリングを活用したプラズマプロセスの解析と制御
キーワード:プラズマプロセス、機械学習、量子アニーリング
機械学習・量子アニーリングなどは,内部の物理・化学プロセスに関しては情報を与えないブラックボックスアプローチである.従来の物理・化学プロセスを記述する微分方程式群による,モデリング・シミュレーション・解析などは,ホワイトボックスアプローチである.両者にはそれぞれ長短所がある.ここでは,この2つの方法を混在させたグレイボックスアプローチの活用を推奨したい.