[16p-A409-1~17] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [16p-A409-11] High quasi-shear mode excitation of c-axis tilted PbTiO₃ epitaxial thin film grown on off-angle-cut single crystal substrate

〇Sota Kuninobu^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3,4,5 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST, 5.JST-START)

Keywords:Ferroelectric, PbTiO3 thin film, Electromechanical coupling coefficient

擬似すべりモードを励振する場合、ウルツ鉱や正方晶では、e₃₃が大きくなると電気機械結合係数k₃₅’²が大きくなる。これまでの我々の研究ではPTOスパッタエピ膜はk_t²=33.5%を示すことを報告した。このPTOの高いe₃₃を用いれば、巨大なk’₃₅²を得る可能性がある。
本研究では、c軸が傾斜してエピタキシャル成長したPTO薄膜共振子を作製した。変換損失法を用いてc軸傾斜PTOエピタキシャル薄膜の厚みすべりモードに対する電気機械結合係数k’₃₅²を推定した。