[16p-A409-1~17] 6.1 Ferroelectric thin films

[16p-A409-2] Transfer of barium titanate film on Si using µ-transfer printing

〇Toshiya Murai¹, Rai Kou¹, Guangwei Cong¹, Nobuaki Mitamura², Ken Morito², Koji Yamada¹ (1.AIST, 2.Fujitsu Optical Components Ltd.)

Keywords:barium titanate, silicon photonics, electro-optic material

シリコンフォトニクスプラットフォームにおいて高速かつ高効率な光変調器の実現するためには,大きな電気光学(EO)係数を有するEO材料のSi上への集積が重要な課題である.強誘電材料チタン酸バリウム(BTO)は非常に大きなEO係数を持つが,Si上での成長にはバッファ層が必要であり,また非常に高い製膜温度を要する.本発表ではµ-トランスファープリンティング法によりバッファ層を介さずに直接BTO薄膜をSi基板上に転写した結果を報告する.