2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-B401-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月16日(木) 13:00 〜 17:45 B401 (2号館)

本田 善央(名大)、村上 尚(農工大)、山口 敦史(金沢工大)

17:30 〜 17:45

[16p-B401-13] アルカリ溶液を用いた多結晶窒化ガリウムのウェットエッチング

〇高山 大希1、辻 幸洋1、中田 健1、牧山 剛三1 (1.住友電工)

キーワード：窒化ガリウム、TMAH