[16p-D221-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[16p-D221-7] データ駆動型研究に向けた微細組織画像の取扱い

〇一瀬 中¹、堀尾 恵一²、松本 要²、吉田 隆³、一野 祐亮⁴ (1.電中研、2.九工大、3.名大、4.愛工大)

キーワード：STEM像、主成分分析、特徴量抽出

データ駆動型研究に透過型電子顕微鏡の画像データを適用することを試みた。最初に、画像データから特徴量を抽出することを目的に、電中研で取得した111個の薄膜試料の787枚の断面組織像のデータセットをもとに主成分分析（Principal Component Analysis; PCA）を行った。PCAを行うにあたり、パラメータの設定，データセットの作成，および，特徴量の抽出方法等を検討した結果を発表する。