[16p-D221-1~11] 11.2 Thin and thick superconducting films, coated conductors and film crystal growth

[16p-D221-8] Plume height monitoring and in-situ height control using a depth camera

〇Shuntaro Yamazaki¹, Tomoki Osada¹, Yusuke Ichino², Yutaka Yoshida¹ (1.Nagoya Univ., 2.Aichi Inst. of Technol.)

Keywords:superconductor

PLD法により薄膜を作製する際に、プルームと呼ばれるプラズマ発光柱が生じる。プルームは雰囲気酸素圧力やレーザー照射エネルギー密度等のパラメータによって形状が変化することが知られている。そこで我々はPLD法における再現性の向上を目的として、成膜中のプルーム情報をもとに薄膜作製条件の調節を可能とする技術の開発を進めてきた。 本講演では、デプスカメラにより成膜中のプルーム形状を取得し、それをもとに酸素分圧を調節することで成膜中のプルーム高さを修正する手法の開発について報告する。