[16p-D221-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[16p-D221-8] デプスカメラによるプルーム高さモニタリング及びその場高さ制御

〇山崎 春太朗¹、長田 智樹¹、一野 祐亮²、吉田 隆¹ (1.名大工、2.愛工大)

キーワード：超伝導

PLD法により薄膜を作製する際に、プルームと呼ばれるプラズマ発光柱が生じる。プルームは雰囲気酸素圧力やレーザー照射エネルギー密度等のパラメータによって形状が変化することが知られている。そこで我々はPLD法における再現性の向上を目的として、成膜中のプルーム情報をもとに薄膜作製条件の調節を可能とする技術の開発を進めてきた。 本講演では、デプスカメラにより成膜中のプルーム形状を取得し、それをもとに酸素分圧を調節することで成膜中のプルーム高さを修正する手法の開発について報告する。