[16p-D411-1~13] 9.4 熱電変換

△ [16p-D411-3] 大気開放型CVD法によるCu-S系化合物薄膜熱電変換材料の作製

〇徳田 亘¹、He Xi¹、古牧 郁弥¹、西村 昂人¹、山田 明¹ (1.東工大工)

キーワード：熱電変換材料、薄膜材料、硫化銅

Cu-S系化合物は，低環境負荷かつ低コストの熱電変換材料として注目される．本稿では，大面積化および量産に有利な大気開放型気相成長(open-air CVD)法を用いてCu-S系化合物薄膜熱電変換材料を作製し，解析を行った．当日は，結晶構造および電気的特性が熱電特性に与える影響について詳細に議論する．