[16p-D511-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-D511-11] バルクSiGeを用いた無歪ラマンシフト全振動モードの導出

〇横川 凌^1,2、寿川 尚¹、柴山 裕貴¹、荒井 康智³、米永 一郎⁴、小椋 厚志^1,2 (1.明大理工、2.明大MREL、3.JAXA、4.東北大学)

キーワード：ラマン分光法、SiGe、歪

SiGe中の歪、Ge組成は、キャリア移動度向上やデバイス設計に直接寄与するため精密な制御が必要であり、評価手法としてラマン分光法が注目される。ラマン分光法で歪、Ge組成を高精度に評価する場合、各Ge組成に対し無歪ラマンシフトを高精度に決定する必要がある。本研究では全振動モードの無歪ラマンシフトをバルクSiGeを用いることで、直接算出を試みたので報告する。