2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 究極のラボ・オートメーション:半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか?

[16p-E302-1~10] 究極のラボ・オートメーション:半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか?

2023年3月16日(木) 13:30 〜 18:30 E302 (12号館)

秋永 広幸(産総研)、青野 真士(Amoeba Energy)、三河 巧(SCREEN)

14:05 〜 14:35

[16p-E302-3] 半導体Fabの自動化を実現するAutomated Material Handling System

本告 陽一1 (1.村田機械)

キーワード:自動搬送、AMHS

300㎜半導体Fabの自動搬送は2000年から本格化され、その需要と規模は年々急速に拡大しています。弊社では幅広いユーザとのやり取りを通して、マーケットの見通しやニーズを学び、独創的な発想と製品開発で需要に応じた提案を行い、搬送トレンドを牽引して来ました。
今回の講演では、Fab内自動搬送システムのご紹介に加えて、これまでの搬送トレンドの変遷を振返り、今後の課題及びトレンドの見通しについて考えます。