[16p-E502-1~9] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [16p-E502-5] トナー型印刷により形成した電子材料パターンの光焼結

〇上月 魁人¹、澤村 史也¹、ウ チェンイ¹、花崎 来希¹、酒井 正俊¹、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工)

キーワード：プリンテッドエレクトロニクス

トナー型印刷は、トナー粒子を電気的な力によって操作しパターンの描画を行う印刷手法である。我々はこれまでに金属や半導体、絶縁体のエレクトロニクス材料の微細パターニングを行ってきたが、次の段階としてパターンを焼結して薄膜にする工程が必要である。本研究では炭酸ガスレーザーや可視光キセノンフラッシュランプなどを用いて様々なトナーの焼結を行った結果を報告する。