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△ [16p-E502-5] トナー型印刷により形成した電子材料パターンの光焼結
キーワード:プリンテッドエレクトロニクス
トナー型印刷は、トナー粒子を電気的な力によって操作しパターンの描画を行う印刷手法である。我々はこれまでに金属や半導体、絶縁体のエレクトロニクス材料の微細パターニングを行ってきたが、次の段階としてパターンを焼結して薄膜にする工程が必要である。本研究では炭酸ガスレーザーや可視光キセノンフラッシュランプなどを用いて様々なトナーの焼結を行った結果を報告する。