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△ [16p-E502-6] 金ナノワイヤ電極を用いた柔軟有機薄膜トランジスタの開発
キーワード:金ナノワイヤ、有機薄膜トランジスタ、フレキシブルエレクトロニクス
本研究ではパリレン柔軟薄膜基板上への微細金ナノワイヤ電極形成技術を構築し、ソース・ドレイン・ゲート全ての電極に金ナノワイヤを用いた柔軟有機薄膜トランジスタを実現した。作製したトランジスタは典型的なp型特性を示すとともに、その接触抵抗は同じデバイス構造の蒸着金薄膜電極を用いたトランジスタに比べて低減した。また半径0.8 mmの円筒に巻き付けた後でも特性は変化せず優れた機械的耐久性を示した。