[16p-PA02-1~5] 1.6 超音波

[16p-PA02-5] インピーダンス負荷弾性表面波センサの有限要素法と回路シミュレータによる解析

馬場 信爾²、〇近藤 淳^1,2 (1.静岡大総合、2.静岡大創造)

キーワード：弾性表面波

弾性表面波(SAW)デバイスとインピーダンス変化型センサと組み合わせたインピーダンス負荷SAWセンサを橋梁のヘルスモニタリングへ応用する研究を行っている．これまでは実験主体の研究を実施してきた．しかし，インピーダンス負荷SAWセンサの最適化を実験のみで行うのは困難である．そこで，本稿では，有限要素法と回路シミュレータを組合せ，インピーダンス負荷SAWセンサの応答であるSAW振幅について検討した結果について報告する．