[16p-PA04-1~24] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-PA04-18] 小型アクチュエータ駆動のための窒化物半導体集積回路の検討

〇(M1)秋良 芳樹¹、赤松 龍弥¹、真下 智昭²、岡田 浩¹ (1.豊橋技科大、2.岡山大)

キーワード：窒化物半導体、集積回路

我々は小型超音波モータを駆動する窒化物半導体集積回路の検討を行った。基本仕様は（1）駆動周波数が1 MHz程度で可変であること、(2)E/D型のnチャネルMOSのみで構成されること、（3）受動素子もモノリシック集積させることを設定した。これらの基本仕様をもとに、Si n-MOSのパラメータを用いて回路設計を行った。SPICEシミュレータで超音波モータ駆動に必要なパルス波形が生成でき、発振周波数を電圧制御可能なNMOS集積回路が設計できた。