2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-PA08-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2023年3月16日(木) 16:00 〜 18:00 PA08 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[16p-PA08-13] 反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のCV耐久性

〇(B)倉田 翔次郎1、穂坂 晃佑1、モハメッド シュルズ ミヤ1、中野 武雄1 (1.成蹊大理工)

キーワード:薄膜