[16p-PA08-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-PA08-13] 反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のCV耐久性

〇(B)倉田 翔次郎¹、穂坂 晃佑¹、モハメッド シュルズ ミヤ¹、中野 武雄¹ (1.成蹊大理工)

キーワード：薄膜