[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-16] FeRh合金薄膜の結晶化条件の違いによる磁気相転移温度への影響

〇福住 正文¹ (1.兵庫県立工業技術センター)

キーワード：Fe-Rh合金薄膜、磁気相転移

これまでFeとRhの組成や基板，薄膜作製方法を変化させて電気抵抗率の温度変化から磁気相転移温度を調べた．その結果，格子のミスマッチングにより磁気相転移温度が変化した．特に，結晶化条件の違いで電気抵抗率の温度変化が大きく異なることが確認された．そこで本研究では，その要因について，磁化の温度変化をVSMで，基板からの膜の組成変化をXPSで調べ，薄膜の成長過程をFIB加工と断面TEM観察から調べる．