[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-4] 赤外レーザー蒸着法を用いたCaH₂およびSrH₂の薄膜合成

〇(B)森 史弥¹、福士 英里香¹、八田 李咲子¹、宗房 幸太¹、原田 尚之²、大口 裕之¹ (1.芝浦工応化、2.物材研)

キーワード：水素化物、薄膜

2族金属水素化物は水素由来の物性を示す興味深い機能性材料である。我々は2族金属水素化物の高品質薄膜化に挑戦してきたが、金属が残った不完全な薄膜しか得られなかった。本研究では、成膜時に反応ガスとして供給している、活性水素の濃度・運動エネルギーが水素化促進の鍵であると考え、従来よりも高濃度・高運動エネルギーな活性水素が供給される環境で成膜を実施した。CuH₂およびSrH₂薄膜において高品質な膜の成長が確認された。