[16p-PA09-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[16p-PA09-5] Synthesis condition search of BaH₂ films to improve their reproducibility

〇Toshiki Ichioka¹, Erika Fukushi¹, Takayuki Harada², Hiroyuki Oguchi¹ (1.Shibaura Tech., 2.NIMS)

Keywords:Hydride Thin Film, hydride conductor

BaH₂は初めてヒドリド伝導が確認された材料である。その伝導率は、これまで見つかっているヒドリド伝導材料の中で比較的高い値を示す。この水素化物を水素センサ等のデバイスへ応用するために、我々はこれまで薄膜合成に挑戦し、ほぼ単相のBaH₂膜を得られるようになっていたが、膜合成の再現性が低いことが問題であった。そこで本研究では、再現性良く膜を得られる合成条件の探索を行った。