[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-5] BaH₂薄膜合成の再現性向上を目指した合成条件探索

〇市岡 俊樹¹、福士 英里香¹、原田 尚之²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工、2.物材研)

キーワード：水素化物薄膜、ヒドリド伝導体

BaH₂は初めてヒドリド伝導が確認された材料である。その伝導率は、これまで見つかっているヒドリド伝導材料の中で比較的高い値を示す。この水素化物を水素センサ等のデバイスへ応用するために、我々はこれまで薄膜合成に挑戦し、ほぼ単相のBaH₂膜を得られるようになっていたが、膜合成の再現性が低いことが問題であった。そこで本研究では、再現性良く膜を得られる合成条件の探索を行った。