[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-9] ポリイミド基板上に作製したNiFeMoスパッタ薄膜における磁気弾性効果

〇望月 航介¹、芦澤 好人¹、中川 活二¹ (1.日大院理工)

キーワード：フレキシブルエレクトロニクス、磁気弾性効果、磁気歪み

近年、高感度で柔軟性の高い磁気センサとして、フレキシブル基板上に作製された磁気インピーダンスセンサが注目されている。しかし、センサ素子を曲げると応力がかかり、磁気歪みを通して磁気弾性効果が生じることから、磁界検出感度が不安定になることが報告されている. 本研究では、磁気弾性効果による磁気特性の変化の抑制を目的とし、磁界中熱処理条件と試料に曲げ応力を加えた状態における磁気特性の関係について報告する。