[16p-PB02-1~15] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[16p-PB02-3] 高速SICMのための超低雑音広帯域トランスインピーダンスアンプの開発

〇亀井 翔天¹、渡邉 信嗣² (1.金沢大・数物、2.金沢大・WPI-NanoLSI)

キーワード：走査型イオン伝導顕微鏡、トランスインピーダンスアンプ

本講演では、市販のディスクリートのOPアンプを用いてゲインは1 GV/A、カットオフ周波数は~750 kHz、低周波の電流ノイズは～7 fA/Hz^0.5 で、10 kHzから電流ノイズは立ち上がるが、高周波の雑音は市販のどのTIAよりも低く抑えら得ているトランスインピーダンスアンプ（TIA)を作成したので、TIAの回路の詳細及びこのTIAを用いてSICM計測を行った結果を示す予定である。