[17a-A205-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17a-A205-3] プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成

〇竹中 弘祐¹、小松 響¹、藤村 知輝¹、都甲 将¹、井手 啓介²、江部 明憲³、神谷 利夫²、節原 裕一¹ (1.阪大接合研、2.東工大フロ研、3.イー・エム・ディー)

キーワード：a-GaO、スパッタリング