[17a-A205-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [17a-A205-7] 成膜パラメータの寄与度解析に基づく、 水素化アモルファスカーボン薄膜のエッチ耐性の向上

〇(M1)安藤 悠介¹、近藤 博基²、石川 健治²、堤 隆嘉²、関根 誠²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ)

キーワード：アモルファスカーボン、化学気相堆積法、機械学習

本研究では、プラズマエッチマスクとして使用されるアモルファスカーボンのエッチ耐性向上に資する成膜過程の解明を目的として、エッチ耐性に対する成膜パラメータの寄与度解析を実施した。
機械学習を用いた解析により、広い範囲での全体的な傾向に寄与するパラメータと、最適条件近傍での狭い範囲で局所的に影響を及ぼすパラメータが存在することが示唆された。