[17a-A205-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [17a-A205-9] コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるTiN膜の作製

〇鬼頭 純平¹、税木 善則¹、本間 健斗¹、渡辺 聖也¹、坂東 隆宏¹、針谷 達¹、滝川 浩史¹、儀間 弘樹²、杉田 博昭² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー)

キーワード：フィルタードアーク蒸着、窒化チタン膜、真空アーク蒸着

本研究では，直流アークを利用して磁界を発生させるコイル状陽極を設計し，真空アーク蒸着装置で採用した。その性能は，磁界を印加した場合としない場合のTiN膜の形成によって評価された。コイル状陽極により磁界を印加することで，成膜速度が向上し，相対的なドロップレット数の減少が予想された。さらに，コイル状陽極を用いることで膜の硬度が向上し，44 GPaの非常に硬い膜が得られた。