[17a-A303-1~6] 3.12 半導体光デバイス（旧3.13）

[17a-A303-6] 走査型非線形誘電率顕微鏡によるブラックシリコン太陽電池のキャリア分布イメージング

〇長 康雄¹、Iandolo Beniamino²、Hansen Ole² (1.東北大未来科学、2.Technical University of Denmark)

キーワード：ブラックシリコン、走査型非線形誘電率顕微鏡、キャリア分布イメージング

走査型非線形誘電率顕微鏡を用いて，リン（P）拡散Black Si太陽電池におけるキャリア分布を定量的に調べた．また，参考として同じリン拡散条件で作製した平坦なSi試料上のキャリア分布も測定した．その結果，エミッタ内の正確なキャリア分布が可視化され，Black Si太陽電池のエミッタ内のキャリア分布の特徴を明らかにすることができた．