[17a-A403-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[17a-A403-1] ナノシートの一次元電子ガスとキャリア量

〇福田 浩一¹、二宮 真理子¹、服部 淳一¹ (1.産総研)

キーワード：ナノシートMOSFET、ポアソンシュレーディンガー法、一次元電子ガス

ナノシートMOSFET構造の1次元電子ガス計算で得られた電子濃度分布に関する知見を発表する