2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[17a-A403-1~10] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:45 A403 (6号館)

竹内 潔(東大)

09:00 〜 09:15

[17a-A403-1] ナノシートの一次元電子ガスとキャリア量

福田 浩一1、二宮 真理子1、服部 淳一1 (1.産総研)

キーワード:ナノシートMOSFET、ポアソンシュレーディンガー法、一次元電子ガス

ナノシートMOSFET構造の1次元電子ガス計算で得られた電子濃度分布に関する知見を発表する