2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[17a-A403-1~10] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:45 A403 (6号館)

竹内 潔(東大)

09:30 〜 09:45

[17a-A403-3] 歪シリコンナノシートにおける有効質量変化に関する第一原理計算

〇(P)掘井 耀1、植田 暁子1、林 喜宏1 (1.産総研)

キーワード:シリコンナノシート、第一原理計算、歪シリコン