[17a-A405-1~9] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

[17a-A405-9] Formation of single nanogroove on ZnO substrate by femtosecond pulse laser

〇(B)Junji Morimoto^1,2, Shi Bai¹, Kotaro Obata¹, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of A. & T.)

Keywords:single nanogroove, ZnO substrate, femtosecond laser pulse

アブレーション閾値近傍のフルエンスをもつ超短パルスレーザーを集光照射することで、偏光方向に依存したナノ周期構造（laser-induced periodic surface structures, LIPSS）が形成される。これまでに我々は、直線偏光のフェムト秒レーザーの照射強度をLIPSS形成条件から高精度に減少させることによって、LIPSS中の溝の数を減少でき、最終的に１本の溝のみ（単一ナノ溝構造）が形成できることを報告した。本研究では、単一ナノ溝構造を制御性良く作製することを目的とし、形成される構造のレーザー照射条件依存性を検討した