11:15 AM - 11:30 AM
[17a-A405-9] Formation of single nanogroove on ZnO substrate by femtosecond pulse laser
Keywords:single nanogroove, ZnO substrate, femtosecond laser pulse
アブレーション閾値近傍のフルエンスをもつ超短パルスレーザーを集光照射することで、偏光方向に依存したナノ周期構造(laser-induced periodic surface structures, LIPSS)が形成される。これまでに我々は、直線偏光のフェムト秒レーザーの照射強度をLIPSS形成条件から高精度に減少させることによって、LIPSS中の溝の数を減少でき、最終的に1本の溝のみ(単一ナノ溝構造)が形成できることを報告した。本研究では、単一ナノ溝構造を制御性良く作製することを目的とし、形成される構造のレーザー照射条件依存性を検討した