2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:45 B401 (2号館)

小林 篤(東大)、林 侑介(阪大)

09:15 〜 09:30

[17a-B401-2] ScAlMgO4基板上GaNのRF-MBE成長における準安定相混在の抑制

和田 邑一1、黒田 悠弥1、後藤 直樹1、久保 祐太1、出浦 桃子2、藤井 高志1、毛利 真一郎1、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.R-GIRO)

キーワード:ScAlMgO4、GaN、RF-MBE