[17a-D419-1~12] 6.4 薄膜新材料

[17a-D419-2] Mg-Ir-O薄膜のパルスレーザー堆積におけるレーザーフルーエンスによる組成調整と新規スピネル型結晶相の形成

〇根岸 真通¹、藤原 宏平¹、塚﨑 敦^1,2 (1.東北大金研、2.東北大CSIS)

キーワード：薄膜、酸化物、スピネル構造

Mg-Ir-O系において、イルメナイト型MgIrO₃以外の化合物は報告されていない。我々は、パルスレーザー堆積法によってMg-Ir-O薄膜を作製した。レーザーフルーエンスを変えることで、薄膜中のMg/Ir組成比をおよそ0.2 ≤ Mg/Ir ≤ 2の広い範囲で調整した。特定の堆積条件の下、スピネル構造をもつ新規Mg-Ir-O結晶相が形成されることを発見した。