[17a-D419-1~12] 6.4 薄膜新材料

△ [17a-D419-8] MBE法でLSAT基板上に成膜したβ相MoO₃薄膜のプロトネーション効果

〇仲井 啓悟¹、宮本 武¹、リチャード オンコ¹、広藤 裕一¹、廣芝 伸哉¹、小池 一歩¹ (1.大阪工大 ナノ材研)

キーワード：MoO3、MBE、プロトネーション

これまで我々は，MBE法で格子整合系LSAT(100)基板にコヒーレント成長させた5 nmのWO₃薄膜をバッファ層とすることで，ミスオリエンテーションを含まない準安定β相MoO₃(100)薄膜がエピタキシャル成長することを報告している．今回，膜厚40 nmのβ-MoO₃(100)薄膜にプロトンを注入した結果，可視光から近赤外領域で透過率が大きく減少し，濃い青色に呈色した．これに伴い，Moの価数が減少し、さらに成長方向に格子が6%伸びることを明らかにした．