[17a-D505-1~10] 1.6 Ultrasonics

△ [17a-D505-10] Resonance properties of leaky SAW third harmonics on bonded LiTaO₃/quartz structures – Evaluation at 1 GHz –

〇(M1)Hibiki Morita¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Jun Mizuno² (1.Univ. Yamanashi, 2.Waseda Univ.)

Keywords:SAW, dissimilar material bonding, third harmonics

当研究グループでは，LiTaO₃(LT)/水晶(Qz)接合構造によるリーキーSAW(LSAW)三次高調波の強勢励振を，600 MHzにおいて実験的に明らかにした．本報告では，1.2~1.5 GHzにおける36°YX-LT薄板とAT90°X-Qzを異種材料接合させた構造上のLSAW三次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を理論的，実験的に評価した結果を報告する．1.2~1.5 GHzでも600 MHzにおける36°YX-LT/AT0°X-Qz上の三次高調波と同等の特性が得られた．また，三次高調波のTCFは，基本波のTCFと比べると理論値に対してより大きな絶対値を示した．