[17a-D505-1~10] 1.6 超音波

△ [17a-D505-10] LiTaO₃/水晶接合構造上のリーキーSAW三次高調波の共振特性－ 1GHz帯における評価 －

〇(M1)森田 響生¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、水野 潤² (1.山梨大、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波、異種材料接合、三次高調波

当研究グループでは，LiTaO₃(LT)/水晶(Qz)接合構造によるリーキーSAW(LSAW)三次高調波の強勢励振を，600 MHzにおいて実験的に明らかにした．本報告では，1.2~1.5 GHzにおける36°YX-LT薄板とAT90°X-Qzを異種材料接合させた構造上のLSAW三次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を理論的，実験的に評価した結果を報告する．1.2~1.5 GHzでも600 MHzにおける36°YX-LT/AT0°X-Qz上の三次高調波と同等の特性が得られた．また，三次高調波のTCFは，基本波のTCFと比べると理論値に対してより大きな絶対値を示した．