[17a-D505-1~10] 1.6 Ultrasonics

△ [17a-D505-9] Suppression of spurious responses on plate waves by divided piezoelectric thin plates

〇(M1)Naoto Hara¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yasushi Yamamoto² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:SAW devices, structure of divided piezoelectric thin plate

板波には高音速，高結合の伝搬モードが存在するが，同時に複数の伝搬モードが存在するため圧電薄板のカット角や板厚に制約がある．本報告では，スプリアス応答を抑圧させる方法として，圧電薄板を互いにオイラー角の異なる二つの層に分割し接合させた構造を提案し，有限要素法により解析した結果を報告する．提案した分割構造において，主応答が維持されたまま，スプリアス応答が格段に抑圧されることが分かった．