[17a-E502-1~13] 7.1 X線技術

[17a-E502-7] X線で100 nmビームサイズを実現するダイヤモンド製屈折レンズの開発

〇岡田 京子¹、梶原 堅太郎¹、隅谷 和嗣¹、加藤 有香子² (1.高輝度光科学研究センター、2.産業技術総合研究所)

キーワード：ダイヤモンド、X線、レーザー

我々は、SPring-8 IIを目指して、新しいＸ線集光素子である「5 keV迄もの低エネルギーで使えるダイヤモンド製屈折レンズ」を世界に先駆けて実現し、開口100 umのX線を100 nmの大強度集光X線にすることを目指している。我々が目指す屈折レンズには、100 um深さ以上の深掘り垂直滑らか穴加工技術」が必要である。現状の浅掘り技術の延長ではこのスペックを実現できない。そこで、レーザーを用いて作製することを試している。