[17a-PA01-1~7] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[17a-PA01-4] Kinetic energy distribution of Ar⁷⁺ ion beam guided by cylindrical glass channels

〇Yuya Kazamatsuri¹, Ryohei Takahashi¹, Tomoaki Seki¹, Yujin Takayama², Nana Sugimoto², Kenji Motohashi^1,2 (1.Toyo Univ. Grad. Sch. Sci. Eng., 2.Toyo Univ. Sci. Eng.)

Keywords:multiply charged ion, ion beam guide

低速多価イオンが入射ビーム軸に対して傾けた絶縁体毛細管内を衝突せずに進行するガイド効果について調べるため、２種類の円筒面ガラスチャネルを独自に開発し、Ar⁷⁺イオンビームを入射した時の出射イオンの価数と運動エネルギーを測定した。ガラスレンズの凸面と凸面を対向させた両凸チャネルでは、0～+3°のチルト角において、出射イオンが入射時の価数とエネルギーを維持した。また、最大で0.17°の偏向を確認した。