2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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[17a-PA01-1~7] 7 ビーム応用(ポスター)

2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PA01 (ポスター)

09:30 〜 11:30

[17a-PA01-5] ガラス円筒面チャネルによりガイドされたAr6+イオンビームの位置と形状の時間発展

關 誠晃1、高橋 遼平1、風祭 佑弥1、高山 裕仁2、杉本 奈々2、本橋 健次1,2 (1.東洋大院理工、2.東洋大理工)

キーワード:多価イオン、イオンビームガイド

二枚のガラス円筒面を対向したガラス円筒面チャネルにAr多価イオンを入射したときの出射イオンの位置と形状の時間発展を調べた。その際、内部の形状の異なる凹凸チャネルと両凸チャネルを用い、絶縁体表面の形状の違いの影響を比較した。その結果、凹凸でも両凸でも、時間経過に伴って徐々に出射イオンが偏向したが、凹凸チャネルの方が、両凸チャネルより大きく偏向した。