[17a-PA01-1~7] 7 ビーム応用（ポスター）

[17a-PA01-7] 超低地球軌道におけるポリイミドエッチング増速効果

〇横田 久美子¹、井出 航¹、藤田 敦史¹、堀本 流石¹、西岡 燦太¹、牛嶌 飛翔¹、田川 雅人¹、土屋 佑太²、後藤 亜希²、行松 和輝²、宮崎 英治²、木本 雄吾² (1.神戸大工、2.宇宙航空研究開発機構)

キーワード：超低地球軌道、ポリイミド、原子状酸素