The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Poster presentation

16 Amorphous and Microcrystalline Materials » 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[17a-PA05-1~7] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

Fri. Mar 17, 2023 9:30 AM - 11:30 AM PA05 (Poster)

9:30 AM - 11:30 AM

[17a-PA05-1] Potential-induced degradation of p-type crystalline Si photovoltaic modules with Cat-CVD SiNx films deposited at various substrate temperatures

〇(M2)Ryoichi Ishikawa1, Huynh Thi Cam Tu1, Keisuke Ohdaira1 (1.JAIST)

Keywords:Potential-Induced Degration, Catalytic Chemical Vapor Deposition

Cat-CVDにて異なる堆積温度で形成したSiNx膜を有するモジュールの電圧誘起劣化(PID)挙動の調査を行った。基板温度150–550 ℃でSiNx膜を堆積したセルを用い、モジュールを作製した。PID試験(−1000 V, 85 °C)を行い、Suns–Voc測定でpFFを評価した。その結果、Naで修飾された積層欠陥に伴う並列抵抗の低減による、PID試験時間の増大に伴うpFFの減少を確認した。また、SiNx堆積時の基板温度により、pFF低減の挙動が異なる傾向が確認され、SiNxの膜特性によりモジュールPID耐性に差異が生じることを示唆する結果を得た。