09:30 〜 11:30
▲ [17a-PA05-5] Optimization of 2-step deposition process of i-a-Si:H passivation layer deposited by facing target sputtering
キーワード:amorphous silicon, surface passivation, sputtering
一般セッション(ポスター講演)
16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池
2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PA05 (ポスター)
09:30 〜 11:30
キーワード:amorphous silicon, surface passivation, sputtering