[17a-PA05-1~7] 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PA05-7] 水素化アモルファスシリコン/結晶シリコンヘテロ構造の解析に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション研究

〇(M1)井上 和磨¹、上根 直也^2,3、後藤 和泰¹、黒川 康良¹、徳増 崇²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東北大院流体研、3.東北大院工)

キーワード：半導体、アモルファスシリコン、分子動力学法

結晶シリコンヘテロ接合型太陽電池のパッシベーション膜として知られるa-Si:H(i)薄膜は、膜中の水素原子がa-Si:H/c-Si界面の未結合手を終端すると考えられている。しかし、高水素濃度のa-Si:H(i)では、製膜時に結晶化し、それに伴うパッシベーション性能の低下が確認された。本研究では、分子動力学計算を行い、a-Si:H(i)の結晶化と水素濃度がパッシベーション性能に与える影響を調べた。