[17a-PA05-1~7] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[17a-PA05-7] Numerical simulation study for analysis of hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon heterostructure by Reactive Molecular Dynamics Method

〇(M1)Kazuma Inoue¹, Naoya Uene^2,3, Kazuhiro Gotoh¹, Yasuyoshi Kurokawa¹, Takashi Tokumasu², Noritaka Usami¹ (1.Graduate School of Eng., Nagoya Univ., 2.Inst. of Fluid Sciences, Tohoku Univ., 3.Graduate School of Eng., Tohoku Univ.)

Keywords:semiconductor, amorphous silicon, Molecular Dynamics method

結晶シリコンヘテロ接合型太陽電池のパッシベーション膜として知られるa-Si:H(i)薄膜は、膜中の水素原子がa-Si:H/c-Si界面の未結合手を終端すると考えられている。しかし、高水素濃度のa-Si:H(i)では、製膜時に結晶化し、それに伴うパッシベーション性能の低下が確認された。本研究では、分子動力学計算を行い、a-Si:H(i)の結晶化と水素濃度がパッシベーション性能に与える影響を調べた。