2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PB01 (ポスター)

09:30 〜 11:30

[17a-PB01-21] LaドープIn₂O₃薄膜トランジスタ特性の測定環境依存

小林 亮太1、野寺 歩夢1、相川 慎也1 (1.工学院大)

キーワード:ガスセンサー、薄膜トランジスタ、La