[17p-A304-1~8] Latest trends in ion beam analysis

[17p-A304-5] Usage situation of ion beam analysis in industry

〇Tetsuya Kogita¹ (1.Toray Research Center, Inc)

Keywords:Ion beam analysis, RBS

産業界においてイオンビーム分析がどのように活用されているのか、またイオンビーム分析に期待されていることを紹介する。