The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Symposium (Oral)

Symposium » Latest trends in ion beam analysis

[17p-A304-1~8] Latest trends in ion beam analysis

Fri. Mar 17, 2023 2:00 PM - 5:10 PM A304 (Building No. 6)

Hidetsugu Tsuchida(Kyoto University), Taku Suzuki(NIMS)

3:35 PM - 4:05 PM

[17p-A304-5] Usage situation of ion beam analysis in industry

Tetsuya Kogita1 (1.Toray Research Center, Inc)

Keywords:Ion beam analysis, RBS

産業界においてイオンビーム分析がどのように活用されているのか、またイオンビーム分析に期待されていることを紹介する。