4:30 PM - 4:45 PM
△ [17p-A403-13] Improvement of passivation performance of silicon nanocrystal/silicon oxide compound layer by 2-step hydrogen plasma treatment
Keywords:hydrogen plasma treatment, poly-crystalline silicon on oxide junction, passivation
我々はこれまでに、シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜に対し、パッシベーション性能の向上を目的に水素プラズマ処理を行なってきた。結果、複合膜には水素が含まれたが、その上に堆積した多結晶シリコンには水素が含まれず、そこに性能向上の余地があった。そこで今回は、高温で複合膜を水素化し、低温で多結晶シリコンを水素化する2段階水素プラズマ処理を着想し、その有用性を検討した。